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具有不同程度之圓角之半導體裝置之溝槽分隔結構及其製造方法
格羅方德半導體公司
申請案號
092133663
公告號
200414418
申請日期
2003-12-01
申請人
格羅方德半導體公司
發明人
賓滕 羅夫 凡
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/762
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具有不同程度之圓角之半導體裝置之溝槽分隔結構及其製造方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通