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專利資訊
溝渠的後處理方法與裝置
茂德科技股份有限公司
申請案號
092133792
公告號
200520143
申請日期
2003-12-02
申請人
茂德科技股份有限公司
發明人
陳美文
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/76
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