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利用聚硫研磨漿進行銅化學機械平坦化組合物及方法

安托菲娜化學公司

申請案號
092133854
公告號
200428524
申請日期
2003-12-02
申請人
安托菲娜化學公司
發明人
馬汀　諾索偉茲
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/3105
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利用聚硫研磨漿進行銅化學機械平坦化組合物及方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通