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浸沒式微影製程以及應用於浸沒式微影製程之結構

聯華電子股份有限公司

申請案號
092133974
公告號
200520045
申請日期
2003-12-03
申請人
聯華電子股份有限公司
發明人
張尚文
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/027
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浸沒式微影製程以及應用於浸沒式微影製程之結構 - 專利資訊 | NowTo 智財通