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專利資訊
裂片裝置
財團法人工業技術研究院
申請案號
092134086
公告號
200520017
申請日期
2003-12-03
申請人
財團法人工業技術研究院
發明人
陳貴榮
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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