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專利資訊
用處理溶液來處理基板的處理設備
佳能股份有限公司
申請案號
092134580
公告號
200414290
申請日期
2003-12-08
申請人
佳能股份有限公司
發明人
山方憲二
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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