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藉ＡＬＣＶＤ方法進行ＨｆＯ2薄膜沉積用之硝酸鉿合成方法

夏普股份有限公司

申請案號
092134718
公告號
200424342
申請日期
2003-12-09
申請人
夏普股份有限公司
發明人
庄維佛
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C23C16/30
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藉ＡＬＣＶＤ方法進行ＨｆＯ2薄膜沉積用之硝酸鉿合成方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通