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專利資訊
使用半導體及光學材料化學及機械平面化及拋光多成份懸浮研磨劑之方法
康寧公司
申請案號
092134763
公告號
200425311
申請日期
2003-12-08
申請人
康寧公司
發明人
亞伯藍比曼
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/302
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