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氮化鎢膜的成膜方法

愛發科股份有限公司

申請案號
092135280
公告號
200422425
申請日期
2003-12-12
申請人
愛發科股份有限公司
發明人
水野榮一
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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氮化鎢膜的成膜方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通