IPC C23C16/34 專利列表
共 5 筆結果
氮化鎢膜的成膜方法
愛發科股份有限公司
案號 0921352802003-12-12IPC C23C16/34
藉熱化學蒸氣沉積製造氮化矽膜和氧氮化矽膜之方法
液態空氣喬治斯克勞帝方法研究開發股份有限公司
案號 0921258832003-09-19IPC C23C16/34
以單晶圓熱壁快速熱化學蒸氣沉積方式進行低溫沉積出以矽為主成份之薄膜的方法
艾斯摩美國股份有限公司
案號 0921244912003-09-04IPC C23C16/34
藉由化學氣相沉積法沉積氮化矽薄膜及氮氧化矽薄膜之方法
液態空氣喬治斯克勞帝方法研究開發股份有限公司
案號 0911342762002-11-26IPC C23C16/34
經改良介電薄膜之系統與方法
艾斯摩美國股份有限公司
案號 0911330572002-11-11IPC C23C16/34