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專利資訊
在基板上形成次微米大小結構的方法
英特爾股份有限公司
申請案號
092135607
公告號
200415690
申請日期
2003-12-16
申請人
英特爾股份有限公司
發明人
羅伯特 趙
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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