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專利資訊
具有保護構件之電漿處理裝置
松下電器產業股份有限公司
申請案號
092135637
公告號
200415250
申請日期
2003-12-16
申請人
松下電器產業股份有限公司
發明人
本城文兼
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C14/35
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