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箱型對向靶材式濺鍍裝置及化合物薄膜之製造方法

ＦＴＳ股份有限公司

申請案號
092136142
公告號
200504238
申請日期
2003-12-19
申請人
ＦＴＳ股份有限公司
發明人
門倉貞夫
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C23C14/35
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