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專利資訊
正型光阻組成物及圖型之形成方法
信越化學工業股份有限公司
申請案號
092136226
公告號
200421030
申請日期
2003-12-19
申請人
信越化學工業股份有限公司
發明人
降簱智欣
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/039
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