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專利資訊
轉移光罩圖形之方法與裝置
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092136451
公告號
200421447
申請日期
2003-12-22
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
張仲興
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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