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小間隙電漿電極定位及晶圓傳輸方法及其裝置

財團法人工業技術研究院

申請案號
092136475
公告號
200522195
申請日期
2003-12-23
申請人
財團法人工業技術研究院
發明人
方宏聲
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/3065
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小間隙電漿電極定位及晶圓傳輸方法及其裝置 - 專利資訊 | NowTo 智財通