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用於電漿汲取孔徑之裝設機構

艾克塞利斯科技公司

申請案號
092136833
公告號
200428463
申請日期
2003-12-25
申請人
艾克塞利斯科技公司
發明人
維特M 班威尼斯特
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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用於電漿汲取孔徑之裝設機構 - 專利資訊 | NowTo 智財通