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降低化學氣相沉積摻雜磷氧化層表面缺陷之方法

旺宏電子股份有限公司

申請案號
092136927
公告號
200521260
申請日期
2003-12-25
申請人
旺宏電子股份有限公司
發明人
林經祥
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C23C16/30
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