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專利資訊
非連續曝光方法製作奈米電子元件
財團法人工業技術研究院
申請案號
092137191
公告號
200522152
申請日期
2003-12-26
申請人
財團法人工業技術研究院
發明人
黃國貞
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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