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專利資訊
半導體元件的校準圖樣形成方法
海力士半導體股份有限公司
申請案號
092137535
公告號
200518182
申請日期
2003-12-30
申請人
海力士半導體股份有限公司
發明人
權元澤
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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