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專利資訊
改變阻劑圖案臨界尺寸之方法及系統
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
093100043
公告號
200423227
申請日期
2004-01-02
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
蘇益辰
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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