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專利資訊
投影曝光裝置
佳能股份有限公司
申請案號
093100079
公告號
200423199
申請日期
2004-01-02
申請人
佳能股份有限公司
發明人
飯塚和央
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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