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專利資訊
可調式氣體分配板組件
應用材料股份有限公司
申請案號
093100376
公告號
200416297
申請日期
2004-01-07
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
白隆尼根溫德T
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C16/44
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