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專利資訊
多層結構晶圓移除一薄層後之回收
斯歐埃技術公司
申請案號
093100388
公告號
200504863
申請日期
2004-01-07
申請人
斯歐埃技術公司
發明人
吉魯洛
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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