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應用多孔側噴嘴之高密度電漿化學氣相沉積室

應用材料股份有限公司

申請案號
093100880
公告號
200523395
申請日期
2004-01-14
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
呂偉誠
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C23C16/513
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應用多孔側噴嘴之高密度電漿化學氣相沉積室 - 專利資訊 | NowTo 智財通