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專利資訊
高分子化合物,光阻材料及圖型之形成方法
信越化學工業股份有限公司
申請案號
093102026
公告號
200428146
申請日期
2004-01-29
申請人
信越化學工業股份有限公司
發明人
畠山潤
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/039
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