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專利資訊
反向感光壓印圖案轉移製程
國立成功大學
申請案號
093102598
公告號
200527500
申請日期
2004-02-05
申請人
國立成功大學
發明人
許聯崇
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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