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供製造一金屬互連結構之減除方法以及藉此方法所獲致之金屬互連結構
恩智浦股份有限公司
申請案號
093102926
公告號
200425304
申請日期
2004-02-09
申請人
恩智浦股份有限公司
發明人
亞諾德 福杜恩
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/30
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