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專利資訊
三甲基銦的填充方法及填充容器
東曹精細化學股份有限公司
申請案號
093103076
公告號
200503080
申請日期
2004-02-10
申請人
東曹精細化學股份有限公司
發明人
富安靜夫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/205
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