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專利資訊
於電漿加工系統中蝕刻時減低光阻扭變的方法
泛林股份有限公司
申請案號
093103086
公告號
200425332
申請日期
2004-02-10
申請人
泛林股份有限公司
發明人
凱麥利 盧素
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3065
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