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用於嵌入式動態隨機存取記憶體之自行對準金屬/絕緣體/金屬(MIM)電容器之製造方法及其所生產之半導體裝置
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
093103382
公告號
200514240
申請日期
2004-02-12
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
涂國基
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L27/108
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