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專利資訊
清潔方法
新力股份有限公司
申請案號
093104127
公告號
200425328
申請日期
2004-02-19
申請人
新力股份有限公司
發明人
嵯峨幸一郎
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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