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專利資訊
反射式投影光學系統
佳能股份有限公司
申請案號
093104308
公告號
200423228
申請日期
2004-02-20
申請人
佳能股份有限公司
發明人
佐佐木隆洋
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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