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專利資訊
含丙烯酸系聚合物之微影用形成填隙之組成物
日產化學工業股份有限公司
申請案號
093104332
公告號
200421038
申請日期
2004-02-20
申請人
日產化學工業股份有限公司
發明人
竹井敏
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/11
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含丙烯酸系聚合物之微影用形成填隙之組成物 - 專利資訊 | NowTo 智財通