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專利資訊
蝕刻系統及其純水添加裝置
群創光電股份有限公司
申請案號
093104584
公告號
200529306
申請日期
2004-02-24
申請人
群創光電股份有限公司
發明人
歐振憲
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/30
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