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前驅體溶液及控制ＭＯＣＶＤ法沉積之ＰＣＭＯ之組成的方法

夏普股份有限公司

申請案號
093105164
公告號
200502420
申請日期
2004-02-27
申請人
夏普股份有限公司
發明人
李廷凱
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C23C16/40
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前驅體溶液及控制ＭＯＣＶＤ法沉積之ＰＣＭＯ之組成的方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通