IPC C23C16/40 專利列表
共 7 筆結果
成膜裝置
羅姆股份有限公司
案號 0931080122004-03-24IPC C23C16/40
前驅體溶液及控制ＭＯＣＶＤ法沉積之ＰＣＭＯ之組成的方法
夏普股份有限公司
案號 0931051642004-02-27IPC C23C16/40
氧化物膜之原子層沈積法
夏普股份有限公司
案號 0931049662004-02-26IPC C23C16/40
用於孔洞低-Ｋ材料之不含氟之電漿固化方法
亞舍立技公司
案號 0931012142004-01-16IPC C23C16/40
金屬氧化膜之形成方法、及該方法所使用之微波電源裝置
東洋製罐股份有限公司
案號 0921280602003-10-09IPC C23C16/40
利用金屬有機胺類與金屬有機氧化物類形成金屬氧化物的系統與方法
麥肯科技有限公司
案號 0921236232003-08-27IPC C23C16/40
利用醇類來形成金屬氧化物的系統和方法
麥肯科技有限公司
案號 0921236532003-08-27IPC C23C16/40