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超低Ｋ值（ＵＬＫ）ＳｉＣＯＨ薄膜及製法

英屬開曼群島商格芯公司

申請案號
093105173
公告號
200428493
申請日期
2004-02-27
申請人
英屬開曼群島商格芯公司
發明人
史帝文　麥康尼爾　蓋斯
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/205
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超低Ｋ值（ＵＬＫ）ＳｉＣＯＨ薄膜及製法 - 專利資訊 | NowTo 智財通