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專利資訊
無缺陷之薄而平坦的膜處理
ASM努突爾股份有限公司
申請案號
093105358
公告號
200421546
申請日期
2004-03-02
申請人
ASM努突爾股份有限公司
發明人
賽普萊恩 伊麥卡 優索
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/768
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