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在雙重摻雜閘極應用中用以改善輪廓控制及正/負型加載的方法
蘭姆研究公司
申請案號
093105514
公告號
200501278
申請日期
2004-03-03
申請人
蘭姆研究公司
發明人
海倫 德爾 普伯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/4763
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