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專利資訊
修護機座表面之方法
矽系統工業股份有限公司
申請案號
093107166
公告號
200421430
申請日期
2004-03-17
申請人
矽系統工業股份有限公司
發明人
李清風
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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