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半導體結晶成長方法及其積層構造與半導體元件
獨立行政法人科學技術振興機構
申請案號
093107211
公告號
200425288
申請日期
2004-03-18
申請人
獨立行政法人科學技術振興機構
發明人
須田淳
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/205
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