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專利資訊
可改善對準精確度之半導體製程
南亞科技股份有限公司
申請案號
093107645
公告號
200532805
申請日期
2004-03-22
申請人
南亞科技股份有限公司
發明人
楊棟樑
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/318
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