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專利資訊
真空容室組件
CYG技術研究所股份有限公司
申請案號
093107905
公告號
200501240
申請日期
2004-03-24
申請人
CYG技術研究所股份有限公司
發明人
高橋信行
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/203
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