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專利資訊
使用一液槽對矽晶圓進行一個面的濕式化學處理的方法
雷納公司
申請案號
093107931
公告號
200511422
申請日期
2004-03-24
申請人
雷納公司
發明人
法蘭克 迪拉海
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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