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專利資訊
成膜裝置
羅姆股份有限公司
申請案號
093108012
公告號
200420747
申請日期
2004-03-24
申請人
羅姆股份有限公司
發明人
岩本邦彥
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C16/40
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