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專利資訊
自對準閘極及其形成方法
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
093108247
公告號
200419814
申請日期
2004-03-26
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
張益馨
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L29/788
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