IPC B24B7/00 專利列表
共 5 筆結果
預熱裝置與方法
台灣積體電路製造股份有限公司
案號 0931036712004-02-16IPC B24B7/00
晶圓磨床構造
財團法人工業技術研究院
案號 0921375732003-12-30IPC B24B7/00
具有樞軸機構之可垂直調整的化學機械拋光研磨頭及其使用方法
艾柏拉科技有限公司
案號 0921306112003-11-03IPC B24B7/00
於直線化學機械平坦化製程中用以控制皮帶表面溫度及研漿溫度的方法與系統
蘭姆研究公司
案號 0921270222003-09-30IPC B24B7/00
研磨墊及方法
日本精密研磨股份有限公司
案號 0921233102003-08-25IPC B24B7/00