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IPC C30B25/20
IPC C30B25/20 專利列表
共 1 筆結果
能減少從基板延伸出來之微管的SiC結晶的製造方法、SiC結晶、SiC單結晶膜、SiC半導體元件、SiC單結晶基板及電子裝置、以及SiC大結晶之製造方法
財團法人電力中央研究所
案號 092106064
2003-03-19
IPC C30B25/20
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