IPC G01B9/02 專利列表
共 12 筆結果
膜厚度及溝槽深度的原位置監控及控制之系統及方法
梅瑞堤儀器公司
案號 0931075422004-03-19IPC G01B9/02
具有液晶相位調變器之相位移疊紋干涉儀
國立成功大學
案號 0931037972004-02-17IPC G01B9/02
雙波混合於光折變晶體干涉裝置
財團法人工業技術研究院
案號 0921312622003-11-07IPC G01B9/02
雷射追蹤儀量測誤差校正
蔡玉峰
案號 0921283542003-10-10IPC G01B9/02
量測物體位移至次奈米級解析度之設備與方法
國立中山大學
案號 0921210102003-07-31IPC G01B9/021
一種使用光柵式干涉儀之三維量測系統
國立虎尾科技大學
案號 0921146192003-05-29IPC G01B9/02
單模光纖位移感測器
國立中央大學
案號 0921062582003-03-21IPC G01B9/02
多軸干涉儀
賽格股份有限公司
案號 0921016772003-01-27IPC G01B9/02
干涉儀裝置與多重經過干涉儀
賽格股份有限公司
案號 0921016762003-01-27IPC G01B9/02
多軸干涉儀裝置、多軸干涉術方法、微影系統及方法、光束刻寫系統、製造積體電路之方法、製造微影光罩之方法
賽格股份有限公司
案號 0921016752003-01-27IPC G01B9/02
補償干涉儀中隨時間改變之氣體特性的方法與裝置
賽格股份有限公司
案號 0921014472003-01-23IPC G01B9/02
相位移干涉術之方法與系統
賽格股份有限公司
案號 0911354142002-12-06IPC G01B9/02